Печь для выращивания монокристаллов германия

Данные тигля

• Диаметр тигля: 14–18 дюймов
• Диаметр кристалла: 4–8 дюймов
• Размер загрузки: 120 кг
• Диаметр горла: 10 дюймов (254 мм)
• Диаметр печи: Φ 762мм
• Высота печи: 1067 мм
• Отверстие дверцы вытяжной камеры: 11 дюймов × 68 дюймов (280 мм × 1727 мм)
• Вакуумные насос основной: 148 куб. футов в минуту (4200 л/ мин)
• Вспомогательная скорость откачки вакуума (рекомендуется): 21,2 кубических футов в минуту (600 л/мин)
• Вытяжка: Нижняя вытяжка
• Тип крышки: Купольная или плоская
• Тип поля: Крючковый, горизонтальный (опционально) крюкообразный, горизонтальный (опционально) с подъемной направляющей трубкой, лазерная дальнометрия, контроль диаметра ПЗС Модернизация вытяжной трубы, лазерная дальнометрия, путь управления ПЗС могут обеспечить вторичную подачу.

Привод тигля

• Скорость подъема: 0–10 дюймов/час (0–254 мм/час)
• Общий ход тигля: 2,0 дюйма/мин (50,8 мм/мин)
• Ход: 11,5 дюйма (292 мм)
• Скорость вращения: 0–20 об/мин (реверсивный)

Блок привода Crystal

• Скорость подъема: 0-20 дюймов/час (0-508 мм/час)
• Скорость вращения: 0-50 об/мин (реверсивный)

Требования

• Напряжение питания: 380 В ± 10%
• Частота: 50/60 Гц
• Мощность нагрева: 165 кВт Нижний нагрев 50 кВт
• Температура окружающей среды: 5-40 (Относительная влажность): <70%
• Максимальная температура на входе: 77°F (25 ℃)
• Минимальный расход: 50 галлонов в минуту (185 л/мин)
• Общая разница давлений на входе и выходе (перепад давления подачи): 30 фунтов на кв. дюйм ( 2,1 кг/см² )
• Основной поток аргона (управление массовым расходом (макс.)): 200 л/мин
• Поток продувки: 100 л/мин
• Общий (общий по объекту): 300 л / мин )
• Рекомендуемое давление подачи: 90 фунтов на кв. дюйм (6,3 кг/ см² )

Система управления

Система управления: Автоматическое управления ПЛК/ПК с помощью ПЛК/ПК.

Размеры (примерные)

• Общая высота (в закрытом виде): 5620 мм
• Ширина: 2000 мм
• Глубина: 2795,8 мм